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Variationen in der Verteilung von Dotierstoffen können die Funktion eines mikroelektronischen Gerätes beeinträchtigen. Die Profilanalyse von SGS zu Dotierstoffen stellt sicher, dass Ihr Produkt über die erforderliche Dotierstoffkonzentration verfügt, um einwandfreie Funktionalität zu gewährleisten.

In der Halbleitertechnologie ist ein Dotierstoff ein Spurenelement, das in ein Substrat oder eine Schicht eingeführt wird, um die Leitfähigkeit zu bestimmen. Die Dotiertechnik ist einer der Hauptprozesse in der Halbleiterindustrie. Da geringe Variationen in der Verteilung von Dotierstoffen die Funktion eines mikroelektronischen Gerätes erheblich beeinträchtigen können, ist es wichtig, sicherzustellen, dass während des Herstellungsprozesses die richtige Menge in der Verteilung benutzt wurde.

Die Profilanalyse von Dotierstoffen von SGS stellt Ihnen alle Informationen bereit, die Sie benötigen, um sicherzustellen, dass Ihr Produkt über die korrekte Dotierstoffkonzentration verfügt und einwandfrei funktioniert.

SGS - ein vertrauenswürdiger Anbieter

Unser Institut in Dresden ist eines der ältesten Labore für Mikroelektronik. Unsere Anlagen haben eine nachgewiesene Erfolgsbilanz höchster Service-Qualität. Unsere Leistungen:

  • Tiefenprofilanalyse von Dotierstoffen und Verunreinigungen mittels Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS, TOF-SIMS). 
  • Messung elektrisch aktiver Dotierstoffe mittels
    • Spreading Resistance Profiling (SRP)
    • Rastersondenverfahren für 2D-Profilanalyse

SIMS und SRP verfügen über eine hohe Empfindlichkeit und eine große Dynamik des Meßsignals. Sie ergänzen sich vorzüglich in ihren Anwendungen.

Nehmen Sie Kontakt zu SGS auf und erfahren Sie, wie unsere Profilanalyse von Dotierstoffen Ihrem Unternehmen nützen kann.